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    微細加工技術雜志

    統計源期刊

    主管單位:信息產業部  主辦單位:中國電子科技集團公司第48研究所

    雙月刊  審稿周期:預計3-6個月  

    《微細加工技術》由伍三忠擔任主編,創刊于1983年,由信息產業部主管、中國電子科技集團公司第48研究所主辦的一本電子領域專業期刊。主要刊載該領域內的原創性研究論文、綜述和評論等,力求及時、準確、全面的反映該領域的政策、技術、應用市場及動態。

    • 43-1140/TN 國內刊號
    • 1003-8213 國際刊號
    • 0.19 影響因子
    • 758 總被引量
    • 1983 創刊時間

    微細加工技術期刊信息

    • 出版語言:中文
    • 創刊時間:1983年
    • 國際刊號:1003-8213
    • 曾用名:微細加工技術
    • 紙張開本:A4
    • 國內刊號:43-1140/TN
    • 出版地區:湖南
    • 發行周期:雙月刊

    微細加工技術期刊榮譽

    微細加工技術投稿須知

    1、文中圖、表隨文出現,圖一般不超過6幅。插圖切勿過大,圖中文字符號應與正文一致,圖片要清晰,層次分明。文章表格一律采用“三線表”。

    2、按GB7714-87《文后參考文獻著錄規則》采用順序編碼制著錄,依照其在文中出現的先后順序用阿拉伯數字加方括號于右上角標出。

    3、引言:簡明扼要地說明本課題的背景、研究理由、目的、方法和意義。介紹研究的背景資料時應引用相關文獻。不應與摘要及討論部分的內容重復。

    4、來稿要求論點明確、數據可靠、文字簡練、層次分明、重點突出、結論準確。

    5、來稿若有基金項目或其他資金資助項目,請詳細列出基金或其他資金項目類型、名稱及編號,每篇來稿的基金項目或其他資金資助項目原則上不超過3個。

    6、注釋一律采用腳注,注碼用“①②③……”,“每頁重新編號”方式。注釋碼置于句 號、逗號、引號之后,不出現在頓號后,句中不出注。

    7、論著應附中、英文摘要。中文摘要不超過400字,英文摘要與中文摘要相對應。摘要采用第三人稱撰寫,必須包括目的、方法、結果和結論四部分。

    8、題目、內容提要、關鍵詞來稿題目限20個字以內,副標題不超過18個字;內容提要字數在300字以內;關鍵詞一般為3至5個,以分號隔開。英文標題需注意大小寫問題,英文關鍵詞統一小寫(本當大寫的單詞除外)。

    9、作者簡介:作者姓名(出生年一),性別(民族),籍貫,職稱,學歷,學位,主要研究方向,聯系電話,電子信箱。

    10、請勿一稿多投,如出現重復投稿,本集刊將采取嚴厲措施,本集刊概不退稿,請作者保留底稿。本論叢堅持以質論稿、擇優錄用的原則,并實行匿名審稿制。

    微細加工技術編輯部聯系方式

    地址:長沙市第96號信箱301分箱(長沙黑石鋪)

    郵編:410111

    主編:伍三忠

    微細加工技術發文選摘

    • 1、電子束環氧基負膠的曝光反應機理分析

      作者:盧文娟; 張玉林; 孔祥東

    • 2、環境因素對微納加工中精確定位影響的研究

      作者:張波; 薛虹

    • 3、電子束直寫中X射線光刻掩模的熱形變研究

      作者:尚鴻雁; 王永坤

    • 4、飛秒激光應用于合金材料微細加工的試驗研究

      作者:劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧

    • 5、光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析

      作者:鄧習樹; 吳運新; 隆志力; 楊輔強

    • 6、微細工件的高頻群脈沖ECLM試驗研究

      作者:付偉; 張之敬; 溫楠

    • 7、基于AFM的多圖層圖形加工

      作者:李曉娜; 韓立

    • 8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線

      作者:李紅; 薛成山; 莊惠照; 張曉凱; 陳金華; 楊兆柱; 秦麗霞

    • 9、基于多種群遺傳算法的膜系優化設計

      作者:劉磊; 金春水; 金偉華

    • 10、Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學特性研究

      作者:李麗; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陳希明; 馮世娟

    微細加工技術同類期刊

    免責聲明

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